檢測信息（部分）

晶圓載具顆粒釋放量分析的對象是什么

晶圓載具顆粒釋放量分析的對象是半導體制造過程中使用的各類晶圓存儲和運輸容器，包括但不限于FOUP、FOSB、SMIF盒等密閉載具。

該檢測的主要應用領域

該檢測主要應用于半導體晶圓廠、載具制造商及材料供應商，用于評估載具在潔凈環境中的顆粒污染控制能力。

檢測的核心目標是什么

檢測核心目標是量化載具內壁在模擬工況條件下釋放的微米/亞微米級顆粒數量，評估其對晶圓表面污染的潛在風險。

典型的檢測執行標準

檢測依據SEMI E72、IEST-STD-CC1246等國際標準，在ISO Class 1-4級超凈環境中進行采樣和分析。

檢測周期通常需要多久

標準檢測周期為5-7個工作日，包含載具預處理、顆粒采集、實驗室分析和報告生成全流程。

檢測項目（部分）

• 靜態顆粒釋放量：載具在靜止狀態下自然脫落的顆粒數量
• 動態摩擦顆粒：模擬機械運動時產生的摩擦微粒
• ≥0.1μm顆粒計數：亞微米級顆粒的量化分析
• ≥0.3μm顆粒分布：關鍵污染尺寸的顆粒濃度
• ≥0.5μm粒子沉降率：單位時間內的顆粒沉降特性
• 載具內壁粗糙度：表面紋理對顆粒吸附的影響
• 材料放氣特性：高分子材料揮發性氣體誘發的微粒
• 靜電吸附效應：靜電荷導致的顆粒聚集現象
• 溫度循環釋放：熱脹冷縮過程激發的顆粒逸散
• 振動敏感度：運輸震動環境中的顆粒釋放規律
• 化學殘留析出：清潔劑殘留物轉化的微粒
• 金屬離子污染：載具材料析出的金屬污染物
• 有機污染物總量：可揮發有機物的微粒轉化量
• 開合沖擊釋放：艙門操作時的瞬間顆粒爆發
• 氣流擾動響應：潔凈氣流沖擊下的顆粒行為
• 濕度敏感性：環境濕度變化對釋放量的影響
• 載具老化衰減：重復使用后的顆粒釋放趨勢
• 表面能測試：材料表面對顆粒的吸附強度
• 局部釋放熱點：載具內高釋放區域的定位分析
• 批次一致性：同型號載具間的顆粒釋放差異

檢測范圍（部分）

• 300mm FOUP（前開式晶圓傳送盒）
• 450mm晶圓載具
• 200mm SMIF（標準機械接口）盒
• 開放式晶舟（Open Cassette）
• FOSB（前開式運輸盒）
• 晶圓運輸推車
• 真空密封載具
• 高溫工藝載具
• 光罩傳送盒（Reticle SMIF）
• 晶圓清洗籃
• 臨時存儲載具
• 自動化物料搬運系統
• 抗靜電載具
• 金屬材質晶舟
• PFA特氟龍載具
• PEEK高分子載具
• 碳纖維復合材料載具
• 防震運輸容器
• 潔凈室專用貨架
• 晶圓廠內部轉運模塊

檢測儀器（部分）

• 激光粒子計數器
• 掃描電鏡能譜儀
• 氣溶膠發生器
• 潔凈度測試艙
• 表面粗糙度儀
• 熱脫附質譜儀
• 振動測試平臺
• 環境模擬試驗箱
• 靜電電荷測試儀
• 納米顆粒監測系統

檢測優勢

檢測資質（部分）

檢測流程

1、中析檢測收到客戶的檢測需求委托。

2、確立檢測目標和檢測需求

3、所在實驗室檢測工程師進行報價。

4、客戶前期寄樣，將樣品寄送到相關實驗室。

5、工程師對樣品進行樣品初檢、入庫以及編號處理。

6、確認檢測需求，簽定保密協議書，保護客戶隱私。

7、成立對應檢測小組，為客戶安排檢測項目及試驗。

8、7-15個工作日完成試驗，具體日期請依據工程師提供的日期為準。

9、工程師整理檢測結果和數據，出具檢測報告書。

10、將報告以郵遞、傳真、電子郵件等方式送至客戶手中。

檢測優勢

1、旗下實驗室用于CMA/CNAS/ISO等資質、高新技術企業等多項榮譽證書。

2、檢測數據庫知識儲備大，檢測經驗豐富。

3、檢測周期短，檢測費用低。

4、可依據客戶需求定制試驗計劃。

5、檢測設備齊全，實驗室體系完整

6、檢測工程師 知識過硬，檢測經驗豐富。

7、可以運用36種語言編寫MSDS報告服務。

8、多家實驗室分支，支持上門取樣或寄樣檢測服務。

檢測實驗室（部分）

結語

以上為晶圓載具顆粒釋放量分析的檢測服務介紹,如有其他疑問可聯系在線工程師！